Máquina de detecção de fugas de hélio a vácuo certificada CE para a indústria de semicondutores

Detector de fugas de hélio SFJ-16M

Indicadores de desempenho






 

Taxa mínima de fugas detectável
(Pa·m)³/s) / modo de vácuo

Modo de vácuo (ULTRA):5.0 × 10^{- 13} Pa·m³/s(velocidade de bombeamento de hélio > 5 l/s)
Modo de vácuo (FINE):1.0 × 10^{- Doze} Pa·m³/s(velocidade de bombeamento de hélio 2,5 L/s)

Taxa mínima de fugas detectável
(Pa·m3/s) / modo de detecção

5.0 × 10^{- 8}Pa·m³/s

Tempo de resposta (s)

< 1

Tempo de arranque (min)

≤ 95 s

Faixa de detecção de fugas
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^{- 13}~ 1,0 × 10^-3Pa·m³/s

Intervalo de exibição da taxa de fuga
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^{- 13}~ 1,0 × 10^-3 Pa·m³/s

Pressão máxima admissível de detecção de fugas ((Pa)

1500

Qualidade detectável

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Configuração básica










 

Interface homem-máquina

Ecrã LCD Touch de 5" a cores

Fonte iônica

2pcs, irídio revestido de óxido de ítrium, com comutação automática

Interface de entrada/saída

Oito entradas e oito saídas

Interface de comunicação

RS232/485, LAN

Interface MES

Padrão

Tamanho físico do instrumento
(W) ×(D) ×(H), mm

592 * 498 * 370 mm

Especificações da porta de detecção de fugas

DN16 KF/2pcs

Fornecimento de energia

DC24V

Temperatura de funcionamento

0-40oC

Potência

240 W

Língua de exibição

Tanto chinês como inglês

Indicação da taxa de fuga

Figura, gráfico de barras, gráfico de curvas