Sistema de detecção de fugas de hélio de câmara de vácuo para componentes/sólidos de semicondutores

Sistema de Detecção de Vazamento de Hélio em Câmara de Vácuo para Componentes/Vedantes de Semicondutores

Introdução do Sistema de Detecção de Vazamento de Hélio

É utilizado para detecção de vazamentos em componentes/vedantes eletrônicos. A solução consiste em um tanque de hélio pressurizado, um tanque de detecção de vazamentos e um detector de vazamento de espectrômetro de massa de hélio.

Características do Sistema de Detecção de Vazamento de Hélio

1. O design exclusivo do circuito de gás melhora a velocidade de bombeamento de hélio, encurta o tempo de fundo de limpeza de hélio e previne efetivamente a poluição por hélio;

2. A taxa mínima detectável de vazamento é baixa, a sensibilidade é alta e a faixa de detecção pode ser de até Nível 12;

3. Funções inteligentes de indicação e alarme de falhas.

Composição do Sistema de Detecção de Vazamento de Hélio

A solução é composta por um tanque de hélio pressurizado, um tanque de detecção de vazamentos e um detector de vazamento de espectrômetro de massa de hélio. Os componentes eletrônicos ou vedantes são colocados no tanque de hélio pressurizado, o gás hélio da concentração especificada

Aplicação do Produto

Indústria de semicondutores, componentes/vedantes