Medidor de vácuo Pirani de aço inoxidável para detector de vazamento de hélio

Introdução do Vacuum Gauge Pirani

O medidor de vácuo Pirani é um sensor chave no sistema de vácuo de um detector de vazamento de espectrómetro de massa de hélio,utilizado para medir a pressão na faixa de vácuo médio a baixo (particularmente durante a fase de bombeamento bruto)O seu núcleo de detecção é tipicamente feito de metais tais como tungsténio ou níquel, enquanto a caixa geral é construída de aço inoxidável.

Função do medidor de vácuo Pirani

O medidor de vácuo Pirani desempenha o papel de "monitor de processo" e "protector do sistema" nos detectores de vazamento do espectrómetro de massa de hélio, com as seguintes funções específicas:
Monitoramento da pressão de vácuo de bombeamento em bruto (forline):
Quando o detector de fugas é ligado, a bomba mecânica deve primeiro evacuar o sistema de vácuo da pressão atmosférica para uma pressão relativamente baixa (normalmente da ordem de 10 Pa a 0,1 Pa).O medidor Pirani monitora as alterações de pressão durante esta fase em tempo real e as exibe na interface do instrumento.
Fornecimento de um sinal de bloqueio para abertura de válvula de alto vácuo (função de proteção do núcleo):
A câmara do espectrómetro de massa do núcleo do detector de fugas só pode funcionar em condições de vácuo elevado (normalmente inferior a 0,1 Pa).Se a válvula de alto vácuo (que liga a bomba mecânica à bomba de difusão/bomba turbomolecular) for aberta antes de a pressão da linha da frente ser suficientemente baixa, pode danificar gravemente a bomba de alto vácuo e contaminar todo o sistema.
O medidor Pirani está ligado ao sistema de controlo do instrumento.O sistema de controlo só permitirá a abertura da válvula de vácuo elevado e o arranque da bomba turbomolecular quando o indicador Pirani detectar que a pressão da linha da frente está abaixo de um limiar de segurança pré-estabelecidoEsta é uma medida de segurança crítica para proteger a cara bomba de vácuo e o espectrómetro de massa.
Auxiliar no diagnóstico do estado do sistema e localização de fugas:
Observando a taxa de queda de pressão durante o bombeamento e a pressão estável final alcançável,é possível determinar preliminarmente se o sistema apresenta uma grande fuga (a pressão não cai constantemente) ou uma saída interna significativa de gás (a pressão cai lentamente).
Durante os testes de vazamento, se a pulverização de hélio não só desencadeia uma resposta ao sinal do espectrómetro de massa, mas também causa um aumento notável na leitura do indicador de Pirani,geralmente indica a presença de uma fuga relativamente grande.